산화아연 나노로드 패턴의 제조방법 및 이에 의하여 제조된 산화아연 나노로드 패턴The method of preparing zinc oxide nanorod pattern and the zinc oxide nanorod pattern prepared by the method

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dc.contributor.author유경식ko
dc.contributor.author권경목ko
dc.contributor.author심재호ko
dc.date.accessioned2017-12-20T11:13:26Z-
dc.date.available2017-12-20T11:13:26Z-
dc.date.issued2013-12-06-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10203/233622-
dc.description.abstract본 발명은 산화아연 나노로드 패턴의 제조방법 및 이의 방법으로 제조된 산화아연 나노로드 패턴에 관한 것이다. 이를 위하여 본 발명은 기판상에 산화아연 씨앗층을 형성하는 단계(단계 1); 아연 전구체 수용액 및 아민류 화합물 수용액을 혼합하여 수열합성용 전구용액을 제조하는 단계(단계 2); 상기 단계 2에서 제조된 전구용액을 상기 단계 1에서 씨앗층이 형성된 기판 위에 적가하는 단계(단계 3); 및 상기 단계 3의 기판에 레이저를 조사하여 나노로드의 성장 및 패터닝을 동시에 수행하는 단계(단계 4)를 포함하는 것을 특징으로 하는 산화아연 나노로드 패턴의 제조방법을 제공한다. 본 발명에 따른 산화아연 나노로드 패턴은 수열합성법 및 레이저 조사를 이용하여 산화아연 나노로드의 성장 및 패터닝을 동시에 수행할 수 있고, 레이저 조사시간을 조절하여 원하는 크기 및 밀도의 산화아연 나노로드 무리로 패턴을 제조하여 마이크로 전자장치, 광전소자, 광학기억장치, 화학센서 및 바이오센서 등을 제작하는 데 용이하게 사용될 수 있다.-
dc.title산화아연 나노로드 패턴의 제조방법 및 이에 의하여 제조된 산화아연 나노로드 패턴-
dc.title.alternativeThe method of preparing zinc oxide nanorod pattern and the zinc oxide nanorod pattern prepared by the method-
dc.typePatent-
dc.type.rimsPAT-
dc.contributor.localauthor유경식-
dc.contributor.nonIdAuthor권경목-
dc.contributor.nonIdAuthor심재호-
dc.contributor.assignee한국과학기술원-
dc.identifier.iprsType특허-
dc.identifier.patentApplicationNumber10-2012-0056093-
dc.identifier.patentRegistrationNumber10-1340953-0000-
dc.date.application2012-05-25-
dc.date.registration2013-12-06-
dc.publisher.countryKO-
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EE-Patent(특허)
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