저온 비젖음 현상과 극미세 패턴을 갖는 템플렛을 이용한 표면 증강 라만 분광 측정용 대면적 금속 나노섬 형성 방법Forming Metal Nano Islands Using Low Temperature Dewetting Method With A Nano Patterned Template For Surface Enhanced Raman Spectroscopy
저온 비젖음 현상과 극미세 패턴을 갖는 템플렛을 이용한 표면 증강 라만 분광 측정용(Surface Enhanced Raman Spectroscopy) 대면적 금속 나노섬 형성 방법을 개시한다. 상기 표면 증강 라만 분광 측정용(Surface Enhanced Raman Spectroscopy) 극미세 패턴을 가지는 금속 나노 섬(Metal Nano Isalnds)의 형성 방법은 기판(10)을 제공하는 제1단계, 상기 기판(10) 상에 나노 레벨의 금속 박막(11)을 형성하는 제2단계, 상기 금속 박막(11) 상에 미세 나노 패턴이 형성된 고분자 주형(12)의 패턴 면을 접촉시킨 후, 열처리 공정을 수행하여 상기 금속 박막(11)에 비젖음성 현상을 유발시키는 제3단계 및 상기 고분자 주형(12)의 미세 패턴 형상으로 상기 금속 박막(11)의 금속 물질이 비젖음성되어 금속 나노 섬(Metal Nano islands)을 형성하는 제4단계를 포함한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2012-12-03
- Application Date
- 2011-02-25
- Application Number
- 10-2011-0017305
- Registration Date
- 2012-12-03
- Registration Number
- 10-1209701-0000
- Appears in Collection
- BiS-Patent(특허)
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