금속 증착형 다공성 산화 알루미늄 바이오칩 및 그 제조방법

Abstract

본 발명은 금속 증착형 다공성 산화 알루미늄 바이오칩 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 기판, 알루미늄 박막, 다공성 산화 알루미늄 박막 및 금속막을 포함하는 새로운 형태의 금속 증착형 다공성 산화 알루미늄 바이오칩 및 상기 바이오칩의 물성을 조절할 수 있는 다공성 산화 알루미늄 바이오칩의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명의 바이오칩에 따르면, 다공성 산화막칩을 이용한 바이오센서가 가지고 있는 장점을 동일하게 가지고 있을 뿐만 아니라, 광원, 검출기, 분광광도계 및 컴퓨터를 포함하는 분석장치와 결합함으로서 DNA을 포함하여 단백질 등의 다양한 바이오분자의 상호작용을 고감도로 검출할 수 있는 바이오센서로서 응용가능하다. 알루미늄 박막, 다공성 산화 알루미늄 박막, 금속막, 국소 표면 플라즈몬 공명, 간섭효과, 금속 증착형 다공성 산화 알루미늄 바이오칩, 비표지 광학 바이오센서