인터포저 기판 상의 나선 형태 이퀄라이저, 이를 포함하는 2.5차원 집적 회로 및 이의 제조 방법SPIRAL-SHAPED EQUALIZER ON AN INTERPOSER SUBSTRATE, 2.5-DIMENSIONAL INTEGRATED CIRCUIT INCLUDING THE SAME AND THE MANUFACTURING THEREOF
이퀄라이저는 제1 말단 및 제2 말단을 포함하는 인터포저 기판 상의 절연층 상부에 위치하는 나선 형태 제1 메탈; 제1 연결부 및 제2 연결부를 포함한다. 제1 연결부는 절연층 상의 전기적 신호가 흐르는 제2 메탈과 전기적으로 연결되는 제1 면; 및 제1 면에 대향하며, 나선 형태 제1 메탈의 제1 말단과 전기적으로 연결되는 제2 면을 포함한다. 제2 연결부는 절연층 상의 접지 전압이 연결되는 제3 메탈과 전기적으로 연결되는 제3 면; 및 제3 면에 대향하며, 나선 형태 제1 메탈의 제2 말단과 전기적으로 연결되는 제4 면을 포함한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2015-01-21
- Application Date
- 2013-05-13
- Application Number
- 10-2013-0053587
- Registration Date
- 2015-01-21
- Registration Number
- 10-1486789-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
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