엇물린 외팔보들을 이용한 마이크로미러 디바이스 및 그응용소자

Abstract

엇물린 외팔보들(Interdigitated cantilevers)을 이용하여 간단한 구조로 안정된 회전 상태를 가지는 마이크로미러 디바이스 및 그 응용 소자에 관해 개시한다. 본 발명의 실시예에 따른 마이크로미러 디바이스는: 기판과, 기판 위에 돌출되게 형성된 복수개의 돌출 지지대, 돌출 지지대 각각의 상부에 기판과 평행하게 형성부착되며, 이웃한 것끼리 나란히 서로 엇물리게 위치한, 탄성복원력을 가지는 얇은 판으로 이루어진 외팔보들과, 외팔보의 타단의 상부에 형성되는 미러 지지대들과, 미러 지지대들의 전부의 상부에 부착되어 이들에 의해 지지되는 미러와, 이 미러에 정전기력을 부여하기 위해 상기 기판 상에 형성된 좌우 두 전극들로 구성된다. 본 발명에 의한 마이크로미러 디바이스는 입사되는 빛을 반사시키는 미러와 기판 위에 놓인 전극 사이의 전압 차에 의한 정전기력과 지지대들 사이에 연결된 외팔보들의 탄성 복원력에 의해 미러를 양 방향으로 회전하게 구동할 수 있으며 회전 각도를 조절할 수 있다. 즉, 상기한 미러는 지지대가 매우 간단한 구조를 이루며 엇물린 외팔보를 이용한 지지 구조에 의해 미러가 두 방향의 회전 구동 상태를 가지는 것을 그 특징으로 한다. 이러한 마이크로미러 디바이스는 화상 표시 분야와 광 스위칭, 광 표시 분야에 널리 사용될 수 있다.마이크로미러 디바이스, 미러, 외팔보, 지지대, 탄성복원력, 화상 표시기, 광 스위칭