광 산란 패턴 검출 장치 및 광 산란 패턴 검출 방법APPARATUS FOR DETECTING LIGHT SCATTERING PATTERN AND METHOD FOR DETECTING LIGHT SCATTERING PATTERN
샘플에 대한 광 산란 패턴을 검출하는 광 산란 패턴 검출 장치가 제공된다. 일 실시 예에 의한 광 산란 패턴 검출 장치는, 상기 샘플에 빛을 조사하는 빛 소스, 상기 샘플로부터 산란되는 빛의 산란 패턴을 검출하는 검출기, 상기 샘플에 대한 빛의 조사 각도 및 파면 패턴 중 적어도 하나를 변경시키는 파면 제어기 및 복수 개의 변경된 조사 각도 각각에서 검출되는 복수 개의 산란 패턴을 합성하는 프로세서를 포함한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2015-02-04
- Application Date
- 2013-11-15
- Application Number
- 10-2013-0139105
- Registration Date
- 2015-02-04
- Registration Number
- 10-1492343-0000
- Appears in Collection
- PH-Patent(특허)
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