구멍이 형성된 무기물 층을 포함하는 유기 발광 다이오드 소자의 제조 방법Method of manufacturing organic light emitting diode device with perforated inorganic layer
유기 발광 다이오드 소자의 제조 방법은, (a) 기판 위에 제1 전극을 형성하는 단계와, (b) 제1 전극 위에, 나노 구조를 가지고 다수의 구멍들을 포함하는 무기물 층을 형성하는 단계와, (c) 무기물 층 위에 유기물 층을 형성하는 단계와, (d) 유기물 층 위에 제2 전극을 형성하는 단계를 포함한다. 무기물 층의 구멍들은 비주기적으로 형성되고, 무기물 층은 금속 마스크를 이용하는 습식 식각 공정에 의해 형성된다. 유기물 층은 무기물 층의 구멍들에 삽입되는 물결 형태의 나노 구조를 포함하고, 제2 전극은 유기물 층의 물결 형태의 나노 구조에 삽입되는 물결 형태의 나노 구조를 포함한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2014-10-29
- Application Date
- 2012-07-10
- Application Number
- 10-2012-0074917
- Registration Date
- 2014-10-29
- Registration Number
- 10-1458181-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
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