유리기판의 돌출 결함 형상 측정장치 및 방법

Abstract

본 발명은 유리기판의 돌출 결함 형상 측정장치 및 방법에 관한 것으로서, 평행광을 유리기판(1)에 투사시키는 평행광생성수단(110)과, 유리기판(1)에 반사되는 광을 제 1 및 제 2 광으로 분할하는 광분할기(120)와, 제 1 광을 기준광으로 생성시키는 기준광생성수단(130)과, 제 2 광을 측정광으로서 기준광에 대한 광경로차를 조절하는 측정광조절수단(140)과, 유리기판(1)과 동일한 재질 및 두께로 형성됨과 아울러 기준광 또는 측정광의 경로상에 설치되어 이들의 경로를 보상하는 리타더(150)와, 기준광과 측정광을 동일 경로로 출사하는 편광분할기(160)와, 편광분할기(160)로부터 출사되는 기준광과 측정광의 위상을 공간적으로 천이시켜서 복수개의 간섭신호를 출사하는 공간위상천이수단(180)과, 공간위상천이수단(180)에 의해 천이된 복수개의 간섭신호를 동시에 획득하는 광검출기(190)를 포함한다. 따라서, 본 발명은 유리기판과 동일한 재질 및 두께를 가진 리타더를 사용하여 기준광이나 측정광을 유리기판의 상면 또는 하면에서 반사되는 광들중 용이하게 선택할 수 있도록 함으로써 유리기판상에서 3차원 돌출 결함의 위치 구분이 가능하며, 유리기판의 돌출 결함의 3차원 이미지는 물론 유리기판에서 돌출 결함을 발생시키는 결함의 2차원 이미지를 획득함으로써 결함의 원인 및 종류 등에 대한 분석이 가능하도록 하는 효과를 가지고 있다.