대면적 3차원 미세광학구조의 제조방법Batch Fabrication Method of Three-dimensional Photonic Microstructures
본 발명은 지지체 제작단계, 가변체 제작단계, 열처리 단계 및 3차원 미세광학구조 형성단계를 포함하여 이루어지며, 본 발명의 목적은 상기의 과정을 통해 사용자의 요구사항에 따라 여러 형태의 3차원 미세광학구조를 생산할 수 있는 대면적 3차원 미세광학구조의 제조방법을 제공하는 것이다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2015-08-19
- Application Date
- 2014-03-03
- Application Number
- 10-2014-0024849
- Registration Date
- 2015-08-19
- Registration Number
- 10-1547155-0000
- Appears in Collection
- BiS-Patent(특허)
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