피조 간섭계용 위상천이 구동장치

Abstract

본 발명은 피조 간섭계(Fizeau interferometery)에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 상기 피조 간섭계의 기준면을 임의로 광축 방향으로 미세 이동시킬 수 있도록 함으로써 렌즈나 평판 등에 대한 수차 측정이 보다 정확하게 이루어질 수 있도록 하고, 이로인해 피조 간섭계를 이용한 수차 측정의 신뢰성을 확보할 수 있도록 한 피조 간섭계용 위상천이 구동장치에 관한 것으로서, 이는 중공의 고정체(2)와 구동체(3)를 구비하되, 상기 고정체(2) 및 구동체(3)의 각 일측부에 상호 대향되게 내측플랜지(21) 및 외측플랜지(31)가 일체로 형성되고, 이들 사이에 압전소자(4)가 개재되게 하여 상기 압전소자(4)에 의해 고정체(2) 내부에서 구동체(3)가 미세구동될 수 있도록 구성되며, 고정체(2) 및 구동체(3)의 양단부에 각각 중공의 제1 판스프링(1) 및 제2 판스프링(1A)의 내경 및 외경이 각각 고정되어 상기 제1 판스프링(1) 및 제2 판스프링(1A)에 의해 구동체(3)가 원위치될 수 있도록 구성함으로써 측정하고자 하는 렌즈나 평판의 수차에 대한 보다 정확한 측정값을 얻을 수 있을 뿐만 아니라 이로인해 피조 간섭계를 이용한 측정의 정확성 및 신뢰성을 한층 증대시킬 수 있는 효과가 있다.