고 응답 멤스 디바이스 및 그 제조방법Method for fabricating MEMS devices with high response
본 발명은 픽셀의 구부러짐을 유발하지 않고 저항 균일도도 동등하게 유지하면서 열고립이 되는 고 응답 멤스 디바이스 및 그 제조방법을 위하여, 판독집적회로를 포함하는 하부 구조체, 상기 하부 구조체와 서로 이격되고, 적외선을 흡수하면 전기저항이 변화하는 적외선 감지부를 구비하는, 상부 구조체 및 상기 적외선 감지부와 상기 판독집적회로를 전기적으로 연결하기 위한 레그부를 포함하고, 상기 레그부는, 열시상수 및 응답도를 조절하기 위하여, 적어도 하나 이상의 관통홀을 구비하는 멤스 디바이스 및 그 제조방법을 제공한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2014-06-11
- Application Date
- 2013-04-25
- Application Number
- 10-2013-0045874
- Registration Date
- 2014-06-11
- Registration Number
- 10-1408905-0000
- Appears in Collection
- RIMS Patents
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