유전체 코어를 갖는 수동소자 제조방법Manufacturing Process of Passive Element with Dielectric Core
높은 단차비와 두께를 갖는 도전구조를 용이하고 저렴하게 제조할 수 있도록, 기판 위에 유전체를 이용하여 단차를 갖는 돌출되는 형상으로 코어를 형성하고, 형성된 코어의 표면에 씨드금속을 코팅하고, 도금이 되지 않아야 하는 부분에 유전체 박막으로 마스킹 패턴을 형성하고, 전기 도금을 행하고, 마스킹 패턴과 도금이 되지 않은 부분의 씨드금속을 제거하는 단계를 포함하는 유전체 코어를 갖는 수동소자 제조방법을 제공한다. 유전체, 코어, 폴리머, 금속산화물, 도금, 인덕터, 수동소자, 고주파, 단차
- Assignee
- (주)웨이브닉스이에스피,한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2010-10-05
- Application Date
- 2008-12-24
- Application Number
- 10-2008-0132812
- Registration Date
- 2010-10-05
- Registration Number
- 10-0987185-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
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