그래핀의 제조 장치 및 이를 이용한 그래핀의 제조 방법APPARATUS FOR MANUFACTURING GRAPHENE AND METHOD OF MANUFACTURING GRAPHENE USING THE SAME
그래핀의 제조 장치는 기판을 처리하기 위한 공간을 제공하는 챔버를 포함한다. 상기 기판 지지부는 상기 챔버 내에 배치되며, 상기 기판을 지지한다. 가스 공급부는 상기 챔버 내에 탄소 소스 가스를 공급한다. 램프 유닛은 상기 챔버 내에서 상기 기판에 대하여 상대이동 가능하도록 설치되며, 광원 및 상기 광원으로부터의 광을 상기 기판 상의 국부적 위치상으로 집속시키기 위한 집속 수단을 구비하여 국부적 열처리를 수행한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2013-12-04
- Application Date
- 2012-05-25
- Application Number
- 10-2012-0056198
- Registration Date
- 2013-12-04
- Registration Number
- 10-1340037-0000
- Appears in Collection
- MS-Patent(특허)EE-Patent(특허)
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