DC Field | Value | Language |
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dc.contributor.author | 권대갑 | ko |
dc.contributor.author | 이동령 | ko |
dc.contributor.author | 김영덕 | ko |
dc.contributor.author | 유홍기 | ko |
dc.date.accessioned | 2017-12-20T10:54:50Z | - |
dc.date.available | 2017-12-20T10:54:50Z | - |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/233053 | - |
dc.description.abstract | 시편의 높이의 정보를 검출하는 공초점 현미경 및 시편의 높이의 정보를 검출하는 방법이 제공된다. 실시예의 공초점 현미경은 복수의 핀홀을 구비하고, 복수의 핀홀을 통과한 반사광의 세기에 기반하여 시편의 높이의 정보를 검출할 수 있고, 검출된 시편의 높이의 정보에 기반하여 시편의 3 차원이 생성될 수 있다. 실시예의 공초점 현미경은 공초점 현미경 및/또는 시편의 기계적인 이송 없이 시편의 높이의 정보를 검출할 수 있고, 시편을 2 차원 평면에서 스캔하는 것만으로 시편의 3 차원 영상을 생성할 수 있다. | - |
dc.title | 이중 검출 반사 공초점 현미경 및 이를 사용하는 시편의 높이의 정보를 검출하는 방법 | - |
dc.title.alternative | DUAL DETECTION CONFOCAL REFLECTING MICROSCOPE AND METHOD OF DETECTING INFORMATION ON HEIGHT OF SAMPLE USING SAME | - |
dc.type | Patent | - |
dc.type.rims | PAT | - |
dc.contributor.localauthor | 권대갑 | - |
dc.contributor.localauthor | 유홍기 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 이동령 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 김영덕 | - |
dc.contributor.assignee | 한양대학교 산학협력단,한국과학기술원 | - |
dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2013-0128066 | - |
dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-1505745-0000 | - |
dc.date.application | 2013-10-25 | - |
dc.date.registration | 2015-03-18 | - |
dc.publisher.country | KO | - |
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