미소입자 처리 장치는 유체가 유출입되는 다수개의 포트들 각각에 연결되는 중심부와 필터부들을 구비하고 상기 필터부들은 상기 중심부로부터 서로 다른 방향들로 연장하는 것을 특징으로 하는 유동 챔버, 상기 필터부들에 각각 구비되며 상기 중심부로부터 상기 필터부를 통해 상기 포트로 이동하는 상기 유체로부터 미소입자를 포획하기 위한 필터 어레이들, 및 상기 포트들 각각에 연결되며 상기 중심부와 상기 필터부들 사이에 상기 유체의 흐름 방향을 조정하여 상기 유체가 순차적으로 상기 필터 어레이들을 통과하도록 제어하는 유동 제어부를 포함한다.