표면 형상 측정 장치APPARATUS FOR MEASURING SURFACE SHAPE
표면 형상 측정 장치는 기판, 상기 기판 상에 연장 형성되는 적어도 하나의 전극 패턴을 구비하는 전극부, 상기 기판 상에 형성되며 상기 전극 패턴을 커버하는 코팅층, 및 상기 기판 또는 상기 코팅층에 가해지는 외부 부하에 의해 발생한 변형에 따라 변화하는 상기 전극 패턴의 물리량을 측정하는 검출부를 포함한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2015-01-05
- Application Date
- 2012-03-30
- Application Number
- 10-2012-0033105
- Registration Date
- 2015-01-05
- Registration Number
- 10-1480752-0000
- Appears in Collection
- BiS-Patent(특허)
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