표면 형상 측정 장치APPARATUS FOR MEASURING SURFACE SHAPE

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표면 형상 측정 장치는 기판, 상기 기판 상에 연장 형성되는 적어도 하나의 전극 패턴을 구비하는 전극부, 상기 기판 상에 형성되며 상기 전극 패턴을 커버하는 코팅층, 및 상기 기판 또는 상기 코팅층에 가해지는 외부 부하에 의해 발생한 변형에 따라 변화하는 상기 전극 패턴의 물리량을 측정하는 검출부를 포함한다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2015-01-05
Application Date
2012-03-30
Application Number
10-2012-0033105
Registration Date
2015-01-05
Registration Number
10-1480752-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/232926
Appears in Collection
BiS-Patent(특허)
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