유량 센서Flow sensor

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본 발명은 유량 센서에 관한 것으로, 본 발명의 목적은 전원이 공급될 필요가 없어 구조를 더욱 간단화하면서도 종래에 비하여 훨씬 저속의 미세 유량을 측정할 수 있도록 하는, 유량 센서를 제공함에 있다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2015-01-14
Application Date
2013-12-19
Application Number
10-2013-0158954
Registration Date
2015-01-14
Registration Number
10-1484540-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/232914
Appears in Collection
ME-Patent(특허)
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