변위 센서 및 이를 이용한 변위 감지 방법

Abstract

변위 센서 및 이를 이용한 변위 감지 방법이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 변위 센서는 부품 위치와 상호 연관되는 운동 가능한 커플러 소자; 여기 신호에 의해 여기되어 전자기 방사를 생성하는 송신 코일; 상기 커플러 소자에 의한 상기 전자기 방사의 차폐에 따른 상기 송신 코일과의 유도 결합에 의하여 수신 신호를 생성하는 적어도 하나 이상의 수신 코일; 및 상기 송신 코일과의 유도 결합에 의하여 상기 커플러 소자의 위치와 무관한 각각의 기준 신호를 생성하는 두 개의 기준 코일을 포함하고, 상기 두 개의 기준 코일은 상기 커플러 소자의 형태를 고려하여 배치되거나 상기 커플러 소자와의 갭 변화에 따라 신호 변화량이 서로 다른 기준 신호를 생성하며, 두 개의 상기 기준 신호에 대한 차와 합의 비율을 이용하여 공통 모드 요소가 제거된 갭에 대한 정보를 포함하는 보상 신호를 생성하고, 상기 생성된 상기 보상 신호와 상기 수신 신호를 이용하여 상기 갭을 고려한 상기 부품 위치에 해당하는 변위를 감지하는 신호 처리부를 더 포함함으로써, 공통 모드 요소와 갭 오차를 함께 보상할 수 있고, 이를 통해 변위 감지의 정확성을 향상시킬 수 있다.