변위 감지 장치 및 그 방법

Abstract

변위 감지 장치 및 그 방법이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 변위 감지 장치는 커플러 소자의 변위에 독립적인 두 개의 기준 신호와 상기 커플러 소자의 변위에 종속적인 적어도 하나 이상의 수신 신호를 수신하는 수신부; 상기 수신된 상기 두 개의 기준 신호에 대한 차와 합의 비율을 이용하여 공통 모드 요소가 제거된, 상기 커플러 소자와 송신 코일 또는 수신 코일 간의 갭에 대한 정보를 포함하는 보상 신호를 생성하는 보상 신호 생성부; 및 상기 생성된 상기 보상 신호와 상기 수신 신호를 이용하여 상기 갭을 고려한 상기 커플러 소자의 변위를 연산하는 연산부를 포함하고, 상기 수신부는 상기 커플러 소자와의 갭 변화에 따라 신호 변화량이 서로 다른 상기 두 개의 기준 신호를 수신함으로써, 신호 처리를 수행하는 프로세서 또는 모듈에서 공통 모드 요소와 갭 오차를 함께 보상할 수 있고, 이를 통해 변위 감지의 정확성을 향상시킬 수 있다.