전기분사법을 이용한 레늄 박막의 제조방법 및 그 제조방법으로 제조된 레늄 박막

Abstract

본 발명은 레늄 박막 및 이의 제조방법으로서, (a) 레늄 소스 분말을 용매 중에 용해시켜 분사액을 준비하는 단계, (b) 분사액이 전기분사될 기판을 가열하는 단계, (c) 분사액을 전압을 인가한 상태에서 상기 기판 상에 전기분사 노즐을 통해 분사하는 단계 및 (d) 분사액이 분사된 기판을 환원분위기에서 열처리하여 레늄 박막을 형성시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기분사법을 이용한 레늄 박막 및 이의 제조방법에 관한 것이다.본 발명에 따른 레늄 박막 및 이의 제조방법은 레늄 소스 분말이 용해된 분사액을 전기분사함으로써 박막의 두께 조절이 용이하고, 저비용의 간단한 공정으로 순도 높은 레늄 박막을 제조할 수 있는 장점이 있다.