레이저 간섭 리소그래피를 이용한 표면 플라즈모닉 컬러 필터의 제조 방법Method of manufacturing surface plasmonic color filter using laser interference lithography
표면 플라즈모닉 컬러 필터의 제조 방법은, (a) 기판 위에 금속막을 형성하는 단계와, (b) 금속막 위에 감광층을 형성하는 단계와, (c) 감광층에 레이저 간섭무늬를 조사하여 감광층에 주기성을 가지는 나노 홀 어레이(nano hole array)를 형성하는 단계와, (d) 감광층의 나노 홀 어레이를 이용하여 금속막을 식각(etching)하여 금속막에 나노 홀 어레이를 형성하는 단계와, (e) 나노 홀 어레이를 가지는 감광층을 나노 홀 어레이가 형성된 금속막으로부터 제거하고 나노 홀 어레이가 형성된 금속막 위에 유전체층을 형성하는 단계를 포함한다.
- Assignee
- 한국과학기술원,고려대학교 산학협력단
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2015-08-28
- Application Date
- 2014-05-16
- Application Number
- 10-2014-0059166
- Registration Date
- 2015-08-28
- Registration Number
- 10-1550008-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
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