미세 패턴을 구비한 폴리머 시트를 제작하는 방법

Abstract

본 발명은 미세 패턴을 구비한 폴리머 시트의 제작 방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로 회전 벨트에 부착되어 이동하는 소프트 몰드를 이용하여 미세 패턴을 구비한 폴리머 시트를 대량으로 제작하는 방법에 관한 것이다.본 발명에 따른 미세 패턴을 구비한 폴리머 시트의 제작 방법은 연속하여 회전하는 벨트에 다수의 소프트 몰드를 장착하고 장착된 소프트 몰드를 이용하여 미세 패턴을 구비한 폴리머 시트를 제작함으로써, 원하는 미세 패턴을 가지는 폴리머 시트를 대량으로 생산할 수 있다. 또한 원하는 미세 패턴을 가지는 다수의 소프트 몰드를 회전 벨트에 부착하여 폴리머 시트를 제작함으로써, 핸드폰의 키패드와 같이 미세 패턴이 그룹으로 이루어져 한 개의 개체를 형성하는 미세 구조물의 생산에 효율적이다. MEMS, 폴리머 시트, 소프트 몰드, 사진 공정, 포토리소그래피