음향광학변조필터를 이용한 투명박막의 3차원 형상측정장치3 Dimensional Shape Measuring Device UsingAcoustic-Optic Tunable Filter

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본 발명은 음향광학변조필터를 이용한 투명박막의 3차원 형상 측정장치에 관한 것으로, 광원으로부터 조사되는 백색광이 반사 및 투과되어 각각 기준면과 측정부로 분리 조사되도록 하기 위한 제 2빔스플리터와, 상기 제 2빔스플리터의 반사각에 대응하는 위치로 제 2빔스플리터 및 기준면의 사이에 설치되어 기준면에 대한 백색광의 조사를 선택적으로 차단하는 블록킹 플레이트를 포함하여 이루어지는 마이켈슨 간섭모듈과, 백색광의 차단여부에 따라 기준면으로부터 선택적으로 반사되는 백색광 및 상기 측정부로부터 반사되는 백색광의 진행방향에 설치되어 표면에 조사되는 백색광 중 일정 파장대역의 백색광을 선별하는 음향광학변조필터와, 광원, 제 2빔스플리터 및 음향광학변조필터 사이의 백색광 반사 및 투과가 순차적으로 이루어질 수 있도록 광원으로부터의 백색광 출사방향 및 제 2빔스플리터로부터의 백색광 출사방향에 대해 대응하여 설치되는 무편광 큐브 형태의 제 1빔스플리터 및 음향광학변조필터에 대해 순차적으로 설치되어 선별된 백색광이 조사되어 분광이미지로 결상되는 CCD센서를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.음향광학, 변조필터, AOTF, 광원, 두께정보, 형상정보, 백색광, 마이켈슨
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2004-09-24
Application Date
2002-07-05
Application Number
10-2002-0038873
Registration Date
2004-09-24
Registration Number
10-0451881-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/232522
Appears in Collection
PH-Patent(특허)ME-Patent(특허)
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