미세 패턴 및 메탈 라인 형성 방법METHOD FOR MAKING A FINE PATTERN AND METAL LINE
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 권영세 | ko |
| dc.contributor.author | 박은현 | ko |
| dc.contributor.author | 양경훈 | ko |
| dc.date.accessioned | 2017-12-20T10:23:33Z | - |
| dc.date.available | 2017-12-20T10:23:33Z | - |
| dc.date.issued | 2003-04-07 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/232355 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 미세 패턴 및 미세 메탈(metal) 라인을 형성하는 방법에 관한 것으로서, 특히 수천 옹스트롬 이하의 미세 패턴 및 미세 메탈 라인을 형성하는 방법에 관한 것이다. 본 발명에서는 반도체 기판위에 제 1물질을 일정 두께로 증착하고, 상기 제 1물질 상부면 일부에 마스킹 물질로 이루어진 마스크를 형성한다. 그리고 에칭방법을 사용하여 마스크가 형성되지 않은 상기 제 1물질을 제거하고, 상기 마스크 하부면의 제 1물질 일단도 에칭하여 마스크 밑으로 일정 깊이의 홈을 형성하며, 상기 제 1물질을 상기 마스크면 상부와 기판 상부면에 재증착하여 상기 홈을 구멍으로 변환시킨다. 이후 상기 마스크와 그 상부면에 재증착된 제1물질을 제거하여 미세 패턴을 형성하고, 형성된 미세 패턴위에 기존의 일반적인 반도체 리소그라피 방법 및 메탈 증착방법을 이용하여 미세 메탈라인을 형성함을 특징으로 한다.미세 패턴, 에칭, 마스크. | - |
| dc.title | 미세 패턴 및 메탈 라인 형성 방법 | - |
| dc.title.alternative | METHOD FOR MAKING A FINE PATTERN AND METAL LINE | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 권영세 | - |
| dc.contributor.localauthor | 양경훈 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 박은현 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2000-0020911 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-0380883-0000 | - |
| dc.date.application | 2000-04-20 | - |
| dc.date.registration | 2003-04-07 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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