외팔보를 이용하는 마이크로미러 디바이스Micromirror device using cantilever

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본 발명에 따른 마이크로미러 디바이스는, 어드레싱 회로가 구성되어 있는 기판; 상기 기판 중심을 기준으로 하여 서로 마주보도록 상기 기판 상에 형성되며 상기 어드레싱 회로와 전기적으로 연결되는 두개의 전극; 상기 기판 중심에 수직하게 형성되며 상기 어드레싱 회로와 전기적으로 연결되는 외팔보 지지대; 상기 외팔보 지지대에 의해 수평지지되며 상기 외팔보 지지대와 만나는 부분을 중심으로 하여 점대칭되도록 양쪽으로 각각 연장되며 상기 전극 상부에서 그 연장이 멈추는 두개의 외팔보; 상기 외팔보의 각 끝단 상에 수직하게 형성된 미러 지지대; 및 상기 미러 지지대 상에 수평하게 놓여지는 미러; 를 구비하여, 상기 어드레싱 회로에 의해서 발생하는 상기 전극과 상기 외팔보 사이의 정전기력 또는 상기 전극과 상기 미러 사이의 정전기력에 의해 상기 외팔보가 변형되도록 함으로써 상기 미러를 회전시켜 상기 미러에 의한 빛의 반사경로를 바꾸는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 종래에 비하여 변형될 수 있는 외팔보의 길이가 매우 길게 되고 다양한 형태의 스프링 구조를 적용하여 낮은 전압에서 더 많이 휘게 할 수 있다. 외팔보, 마이크로미러, 정전기력, 스프링, 다결정실리콘
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2004-09-30
Application Date
2002-02-25
Application Number
10-2002-0009989
Registration Date
2004-09-30
Registration Number
10-0452113-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/232345
Appears in Collection
EE-Patent(특허)
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