마이크로미러 소자의 미러 지지대를 도금 공정을 이용하여제작하는 방법

Abstract

본 발명은 디지털 마이크로미러 소자에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 디지털 마이크로미러 소자의 제조방법으로써 종래의 디지털 마이크로미러 소자는 미러면의 가운데에 구멍이 있어 빛의 반사 효율이 저하되는데 반하여 미러 지지대부분을 전기도금 공정을 이용하여 미러면을 지지하는 부분을 전기도금 공정으로 제작하여 빛을 반사시키는 미러면의 구멍을 없애, 마이크로미러 소자가 완전히 편평한 미러면을 가지는 것에 관한 것이다.본 발명에 따른 마이크로미러 소자의 미러 지지대를 도금 공정을 이용하여 제작하는 방법은, 마이크로 미러 소자에 인가되는 전압에 의한 정전기력과 구동부들의 탄성 복원력에 의한 미러의 양 방향 회전을 통해 미러에 입사되는 빛을 서로 다른 방향으로 반사시키는 마이크로 미러 제조 방법에 있어서, 미러를 지지하는 미러 지지대 하부에 시드 전극을 형성하고, 미러 지지대 상부에 전압을 인가하는 전극을 형성하여, 시드 전극과 전극 간에 인가되는 전압에 의해 미러 지지대를 전기도금하여 형성시키는 것을 특징으로 이루어진다.미러, 기판, 전극, 돌출지지대, 미러지지대, 외팔보