광파이버를 이용한 다 자유도 초정밀 변위 센서

Abstract

본 발명은 변위 센서에 관한 것이며, 특히 공간상 강체의 3 자유도 변위를 비접촉, 광학적 방법으로 정밀 측정할 수 있는 광파이버를 이용한 다자유도 초정밀 변위 센서를 제공하는데 그 목적이 있다.또한, 본 발명에 따르면, 입력된 제어 신호에 따라 광신호를 생성하여 광파이버를 통하여 출력하기 위한 광 신호 발생 수단; 상기 광 신호 발생 수단에서 입력된 광신호를 측정 대상 표면에 투과한 후, 반사광의 광량을 측정, 출력하기 위한 제1 측정 수단; 상기 제1 측정 수단의 출력 단자를 중심으로 대칭적으로 위치하여, 상기 제1 측정 수단에서 출력된 광신호의 상기 측정 대상 표면으로부터의 반사광의 초점 거리 변화와 광량 변화를 측정하여 출력하기 위한 한 쌍의 제2 측정 수단; 및 상기 한 쌍의 제2 측정 수단에서 측정된 초점 거리 변화를 이용하여 상기 측정 대상 표면의 변위를 측정하고, 상기 제1 및 제2 측정 수단에서 측정된 광량 변화를 이용하여 상기 측정 대상 표면의 요각 및 피치각의 변화를 측정하기 위한 신호 처리 수단을 포함하여 이루어진 광파이버를 이용한 다 자유도 초정밀 변위 센서가 제공된다.광파이버 센서, 광삼각법 센서, 광파이버