기체상의 금속 촉매를 이용한 전사 공정이 생략된 그래핀의 제조 방법

Abstract

본 발명은 기체상 금속 촉매를 이용한 전사 공정이 생략된 그래핀의 제조 방법으로서, 기판상부 위치한 금속선을 가열하여 챔버 내에 기체상 금속 촉매를 형성하는 단계, 챔버 내에 탄소 소스 기체를 주입하는 단계, 가열된 금속선을 이용하여 기판상의 제1 부분을 가열함으로써 기판상의 제1 부분에 그래핀층을 형성하는 단계 및 가열된 금속선을 이동시켜 기판상의 제1 부분과는 상이한 기판상의 제2 부분을 가열함으로써 기판상의 제2 부분에 그래핀층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기체상 금속 촉매를 이용한 전사 공정이 생략된 그래핀의 제조 방법에 관한 것이다.본 발명에 따른 그래핀의 제조 방법은 전사 공정이 없어 그래핀 품질의 저하를 막을 수 있고, 금속선에 가하는 전류를 조절함으로써 금속선의 가열 온도에 따른 기체상 촉매의 증기압을 제어하여 고품질의 그래핀을 성장시킬 수 있으며, 금속선의 이동 속도를 조절하여 그래핀 성장을 제어하여 다양한 품질의 그래핀을 제조 가능한 장점이 있다.