볼로미터용 니켈 산화막 및 그의 제조방법, 니켈 산화막을 이용한 적외선 감지소자NICKEL OXIDE FILM FOR BOLOMETER USE AND METHOD THEREOF, INFRARED DETECTOR USING NICKEL OXIDE FILM
본 발명은 볼로미터용 니켈 산화막 및 그의 제조방법, 니켈 산화막을 이용한 적외선 감지소자에 관한 것이다. 본 발명에 따른 볼로미터용 니켈 산화막은, -3/oC이상의 TCR과 낮은 수준의 노이즈(noise)값, 안정적이고 재현성있는 특성을 가진다. 또한, 볼로미터용 니켈 산화막을 이용한 적외선 감지소자의 제작에 적용될 수 있다. 니켈 산화막, 열처리, TCR, 1/f 노이즈, 볼로미터
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2011-10-25
- Application Date
- 2008-12-29
- Application Number
- 10-2008-0135149
- Registration Date
- 2011-10-25
- Registration Number
- 10-1078208-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
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