3차원 탐침 및 그 제조 방법THREE DIMENSION PROBE AND ITS FABRICATION METHOD
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 나노팹 | ko |
| dc.contributor.author | 현문섭 | ko |
| dc.contributor.author | 이 준 | ko |
| dc.contributor.author | 양준모 | ko |
| dc.contributor.author | 박경진 | ko |
| dc.contributor.author | 이완규 | ko |
| dc.date.accessioned | 2017-12-20T09:07:48Z | - |
| dc.date.available | 2017-12-20T09:07:48Z | - |
| dc.date.issued | 2015-12-18 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/232052 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 3차원 탐침 및 그 제조 방법, 3차원 탐침 제조용 적층체에 관한 것으로, 탐침기판층의 상부에 유효탐침층, 탐침헤드층 및 탐침보호층을 순차 적층한 후 적층체 모재를 추출하는 단계와, 상기 추출된 적층체 모재에 캔틸레버 선단부를 접합하는 단계와, 상기 캔틸레버 선단부 및 적층체 모재를 원기둥 형태로 밀링 가공하는 단계와, 상기 탐침보호층을 제거한 후, 상기 유효탐침층을 기 설정된 깊이만큼 식각하는 단계를 포함함으로써, 물질 또는 재료의 특성에 대한 3차원 측정을 위해 유효탐침부의 상부에 탐침헤드가 돌출 형성되어 3차원 정밀 측정을 수행하는 3차원 탐침을 제조할 수 있다. | - |
| dc.title | 3차원 탐침 및 그 제조 방법 | - |
| dc.title.alternative | THREE DIMENSION PROBE AND ITS FABRICATION METHOD | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 현문섭 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이 준 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 양준모 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 박경진 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이완규 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2015-0069515 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-1580269-0000 | - |
| dc.date.application | 2015-05-19 | - |
| dc.date.registration | 2015-12-18 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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- RIMS Patents
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