CMOS기반의 단일칩을 이용한 X-선 검출기 또는 영상센서 및 그 제조방법X-ray detector or image sensor based on CMOS and method of manufacturing the same
본 발명은 고성능, 고 분해능, 대면적 및 대면적 확장이 가능한 CMOS기반의 단일칩을 이용한 X-선 검출기 또는 영상센서 및 그 제조방법을 위하여, CMOS기반의 단일칩을 이용한 X-선 검출기 또는 영상센서의 제조방법에 있어서, 기판을 준비하는 단계, 상기 기판의 적어도 일면 상에, ROIC(readout integrated circuits), 오버레이 버니어 키(overlay vernier key) 및 얼라인먼트 키(alignment key) 정보를 포함하는 제 1 레티클을 이용하여 상기 단일칩 영역의 테두리를 스티칭 공정에 의하여 복수의 제 1 샷으로 노광하는 단계 및 상기 기판의 적어도 일면 상에, 픽셀 및 로우 드라이버(low driver) 정보를 포함하는 제 2 레티클을 이용하여 상기 단일칩 영역 중 테두리를 제외한 나머지 영역을 스티칭 공정에 의하여 복수의 제 2 샷으로 노광하는 단계를 포함하는, CMOS기반의 단일칩을 이용한 X-선 검출기 또는 영상센서 및 그 제조방법을 제공한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2016-01-07
- Application Date
- 2014-06-03
- Application Number
- 10-2014-0067711
- Registration Date
- 2016-01-07
- Registration Number
- 10-1585078-0000
- Appears in Collection
- RIMS Patents
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