갈바노 미러를 이용한 파장 스캐닝 방식의 공초점 분광 현미경

Abstract

본 발명은 갈바노 미러를 이용한 파장 스캐닝 방식의 공초점 분광 현미경에 관한 것으로, 평행광을 출사하는 펄스 레이저 광원부, 상기 광원부에서 출사되는 레이저의 편광을 얻기 위한 편광판, 상기 편광판에서 편광된 광에서 임의의 파장에 대한 회절광을 획득하기 위한 회절부, 상기 회절부를 통해 회절된 광을 스캐닝 하는 스캐닝 미러, 상기 스캐닝 미러에서 스캐닝된 빔을 측정 시편에 조사하는 조사부, 상기 조사부를 통해 측정 시편에 조사된 후 반사되는 형광신호를 파장에 따라 분산시키는 프리즘, 상기 프리즘을 투과한 광의 크기를 결정하는 렌즈부, 회전을 통해 상기 렌즈부에서 출사되는 광의 파장을 결정하는 갈바노 미러 및 상기 갈바노 미러에서 선택된 임의의 파장을 가지는 광이 핀홀을 투과하면 해당 광을 검출하는 광검출부를 포함하는 것을 특징으로 한다.