전기력을 이용한 균일한 미세 솔더볼 제조 방법 및 장치Method and Apparatus for Fabricating Uniform Fine Solder Ball using Electric Field
본 발명은 용융 챔버에 기계적인 진동을 가하지 않고 전기장에 의해서 생성된 테일러 콘 형태의 액주에 교류 전압을 가해서 노즐 파이프 크기보다 작은 균일한 액적을 생성하되, 전압의 세기와 주파수를 이용해서 생성되는 액적의 크기를 조절하는 방식을 통해서 수율을 향상시키고 제조 공정을 단순화하여 저비용으로 연속적으로 생산하는 솔더볼의 제조방법 및 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2014-08-22
- Application Date
- 2013-01-24
- Application Number
- 10-2013-0007777
- Registration Date
- 2014-08-22
- Registration Number
- 10-1435367-0000
- Appears in Collection
- ME-Patent(특허)
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