나노 다공성 멤브레인 및 이의 제조방법NANOPOROUS MEMBRANE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

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본 발명의 나노 다공성 멤브레인은 나노 그리드가 형성되어 있는 기판을 준비하는 단계; 상기 나노 그리드의 돌출부상에 희생층 및 나노선을 순차적으로 형성하는 단계; 상기 나노선 상에 마이크로 크기의 구멍을 갖는 지지층을 형성하는 단계; 및 상기 희생층을 제거함으로써 상기 나노선이 부착된 상기 지지층과 상기 나노 그리드가 형성되어 있는 상기 기판을 분리하는 단계를 포함하는 나노 다공성 멤브레인 제조방법에 따라 제조된다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2014-03-03
Application Date
2012-06-11
Application Number
10-2012-0061916
Registration Date
2014-03-03
Registration Number
10-1371342-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/231213
Appears in Collection
EE-Patent(특허)
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