본 발명은 웨이퍼기판에 대하여 수직(vertical) 또는 수평(lateral) 방향으로 가진(driving)하며 수직(vertical) 또는 수평(lateral) 방향으로 감지(sensing)하는, 높은 생산성을 갖는 멤즈 기반의 자이로스코프(gyroscope)에 관한 것으로서, 바닥 웨이퍼기판에 평행하게 배치되는 프레임;과, 가진모드에서, 상기 프레임과 함께 1자유도로 가진되고, 감지모드에서, 상기 프레임에 외부의 각속도가 입력될 때 코리올리힘에 의해 2자유도로 감지되는 센서질량체;와, 상기 센서질량체에 의한 2자유도의 각 감지변위를 측정하는 적어도 2개의 감지전극; 및 상기 센서질량체와 상기 프레임을 연결하고 상기 센서질량체가 2자유도의 각 감지변위를 갖도록 허용하는 적어도 2개의 센서질량체 지지스프링을 포함하는 것을 특징으로 한다.