나노제너레이터 분리 방법 및 이를 이용한 플렉서블 나노제너레이터 제조방법METHOD FOR SEPARATING NANOGENERATOR AND METHOD FOR MANUFACTURING NANOGENERATOR USING THE SAME
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 이건재 | ko |
| dc.contributor.author | 박귀일 | ko |
| dc.contributor.author | 황건태 | ko |
| dc.contributor.author | 정창규 | ko |
| dc.date.accessioned | 2017-12-20T06:39:23Z | - |
| dc.date.available | 2017-12-20T06:39:23Z | - |
| dc.date.issued | 2014-03-04 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/231208 | - |
| dc.description.abstract | 희생기판 상에 나노제너레이터를 제조하는 단계; 상기 나노제너레이터 상에 금속층을 적층하는 단계; 및 상기 금속층에 기계적 또는 열적 에너지를 가하여 상기 희생 기판의 일부를 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노제너레이터 분리방법이 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 종래의 습식 식각 등의 공정을 통하여 희생기판으로부터 나노제너레이터를 분리하는 방식이 아닌, 희생기판과 상기 금속층 사이의 응력 차이를 이용하여 나노제너레이터를 분리한다. 따라서, 기계적인 방식으로 나노제너레이터를 희생기판으로부터 분리할 수 있으므로, 식각액을 이용한 화학적 분리 방식에 비하여 보다 안전하고, 경제적이다. 더 나아가, 식각액으로 인한 나노제너레이터의 손상을 미리 피할 수 있다는 장점이 있다. | - |
| dc.title | 나노제너레이터 분리 방법 및 이를 이용한 플렉서블 나노제너레이터 제조방법 | - |
| dc.title.alternative | METHOD FOR SEPARATING NANOGENERATOR AND METHOD FOR MANUFACTURING NANOGENERATOR USING THE SAME | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 이건재 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 박귀일 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 황건태 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 정창규 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2013-0002661 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-1372395-0000 | - |
| dc.date.application | 2013-01-09 | - |
| dc.date.registration | 2014-03-04 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
- Appears in Collection
- MS-Patent(특허)
- Files in This Item
- There are no files associated with this item.
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.