나노와이어 어레이 압전소자의 제조방법MANUFACTURING METHOD OF NANOWIRE ARRAY PIEZOELECTRIC ELEMENT

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나노와이어 압전소자의 제조방법에 있어서, 오목부가 형성된 나노와이어 어레이 템플릿 상에 자외선 경화수지를 주입하여 상기 오목부에 대응하는 볼록부를 갖는 폴리머 기판을 생성하는 폴리머 기판 생성단계; 상기 폴리머 기판을 상기 나노와이어 어레이 템플릿으로부터 분리하는 분리단계; 상기 폴리머 기판의 볼록부 상에만 압전 물질이 증착되도록 상기 폴리머 기판을 소정 각도 기울인 상태에서 상기 압전 물질을 증착하는 증착단계; 및 상기 압전 물질 상에 전극을 생성하고, 상기 전극을 패터닝하는 패터닝단계; 를 포함한다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2016-05-27
Application Date
2014-10-22
Application Number
10-2014-0143544
Registration Date
2016-05-27
Registration Number
10-1626955-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/230806
Appears in Collection
EE-Patent(특허)
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