레이저를 이용한 소자 분리 방법, 플렉서블 소자 제조방법Method for separating device and manufacturing flexible device using laser
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 이건재 | ko |
| dc.contributor.author | 박귀일 | ko |
| dc.contributor.author | 손정환 | ko |
| dc.date.accessioned | 2017-12-20T02:38:01Z | - |
| dc.date.available | 2017-12-20T02:38:01Z | - |
| dc.date.issued | 2014-06-03 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/230779 | - |
| dc.description.abstract | 소자 분리 방법으로, 희생 기판상에 버퍼층을 적층하는 단계; 상기 버퍼층 상에 상기 소자를 제조하는 단계; 상기 소자가 제조된 희생기판의 후면에 레이저를 조사하여 상기 소자를 상기 희생 기판으로부터 분리하는 방법을 포함하며, 여기에서 상기 조사되는 레이저는 상기 희생 기판 및 버퍼층을 투과하여 상기 소자에 조사되며, 상기 조사되는 레이저에 의하여 상기 소자의 하부층은 가열되는 것을 특징으로 하는 소자 분리 방법이 제공된다. | - |
| dc.title | 레이저를 이용한 소자 분리 방법, 플렉서블 소자 제조방법 | - |
| dc.title.alternative | Method for separating device and manufacturing flexible device using laser | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 이건재 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 박귀일 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 손정환 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2012-0127008 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-1406659-0000 | - |
| dc.date.application | 2012-11-09 | - |
| dc.date.registration | 2014-06-03 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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