미소입자 검출 장치Particle counter and electrical property analyzer with vertical conduit
미소입자 검출 장치는, 미소입자를 포함하는 유체가 통과하도록 형성된 적어도 하나의 관통홀을 갖는 기판, 상기 기판에 구비되고 상기 관통홀을 둘러싸며 서로 이격 배치된 제1 및 제2 전극들, 및 상기 제1 및 제2 전극들에 전기적으로 연결되고, 상기 관통홀에 전기장을 인가하며 상기 관통홀을 통과한 미소입자를 검출하기 위한 검출부를 포함한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2014-05-19
- Application Date
- 2013-02-28
- Application Number
- 10-2013-0021660
- Registration Date
- 2014-05-19
- Registration Number
- 10-1399005-0000
- Appears in Collection
- BiS-Patent(특허)
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