3차원 인덕터3 DIMENSION INDUCTOR
본 발명은 3차원 인덕터에 관한 것으로, 이를 위하여 본 발명은, 반도체 기판에서 일정 거리 이격된 위치에 단위 금속선이 배열되는 3차원 인덕터을 제공하는 종래와는 달리, 일측이 바닥 금속층과 연결되고, 타측이 지지대와 연결되며, 바닥 금속층과 연결된 곳으로부터 외부 방향으로 나선 형태를 구성하면서 바닥 금속층에서 지지대까지 반도체 기판으로부터 순차적으로 이격되도록 구성된 단위 금속선을 포함하는 3차원 인덕터를 제공함으로써, 반도체 기판에 의한 손실을 감소시킬 수 있고, 인덕터 성능을 향상시킬 수 있는 것이다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2011-12-28
- Application Date
- 2010-03-23
- Application Number
- 10-2010-0025720
- Registration Date
- 2011-12-28
- Registration Number
- 10-1102340-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
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