비기체 연소합성을 위한 박막구조의 제조방법Manufactureing Method of Thin Film structure for Self-Propagating High Temperature Synthesis
본 발명은 비기체 연소합성을 위한 박막구조의 제조방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로, 제1 재료층에 제2 재료층을 증착하여 증착구조를 형성하는 단계; 상기 증착구조를 적층하여 적층구조를 형성하는 단계; 및 상기 적층구조를 압착하는 단계를 포함하는 비기체 연소합성을 위한 박막구조의 제조방법, 상기 방법으로 제조된 비기체 연소합성을 위한 박막구조, 및 상기 박막구조를 이용한 비기체 연소합성 방법에 관한 것이다. 본 발명은 균일한 층간구조를 갖고, 비기체 연소합성 시 발생하는 열원을 균일하게 제어할 수 있는 비기체 연소합성을 위한 박막구조를 제공할 수 있다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2016-06-09
- Application Date
- 2014-11-05
- Application Number
- 10-2014-0152989
- Registration Date
- 2016-06-09
- Registration Number
- 10-1630753-0000
- Appears in Collection
- NE-Patent(특허)MS-Patent(특허)
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