두 파장 레이저 간섭계를 이용한 길이 측정 장치Graphical length measuring apparatus using two-color interferometer

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본 발명의 목적은 기하학적 길이를 측정함에 있어서 두 가지 파장의 레이저 광을 사용하는 간섭계를 이용하여 경제적이고 효율적으로 길이를 측정함과 동시에 오류를 최소화하여 정확도를 극대화할 수 있도록 하는, 두 파장 레이저 간섭계를 이용한 길이 측정 장치를 제공함에 있다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2016-07-20
Application Date
2015-11-11
Application Number
10-2015-0157918
Registration Date
2016-07-20
Registration Number
10-1642952-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/230637
Appears in Collection
ME-Patent(특허)
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