내부 전극을 구비한 플라즈마 방전 클러스터 및 그 제조방법A Cluster model and structure of internal electrodes plasma discharge cluster for a low voltage flexible back-light unit
내부 전극을 구비한 플라즈마 방전 클러스터 및 그 제조방법이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 방전 클러스터는 제1 기판의 배면 상부에 형성되는 제1 전극; 상기 제1 기판의 전면을 식각하고, 식각된 상기 제1 기판의 전면 상부에 형성되는 형광체층; 및 제2 기판의 전면을 식각하고, 식각된 상기 제2 기판의 전면 상부에 형성되는 제2 전극을 포함하고, 상기 제1 기판의 전면과 상기 제2 기판의 전면이 봉착되어 방전가스가 주입된 방전공간이 형성될 수 있으며 바람직하게, 상기 제2 전극에 의한 불안정한 방전을 방지하기 위해, 상기 제2 전극 상부에 형성되는 유전체층을 더 포함할 수 있다. 내부전극, 플라즈마 방전 클러스터, 플렉시블(flexible), 백라이트 유닛(BLU), MgO