금속 전기 증착 방식을 이용한 접촉 대전 발전기 및 그 생성 방법TRIBOELECTRIC ENERGY HARVESTER USING METAL ELECTRODEPOSITION AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
금속 전기 증착 방식(metal electrodeposition)을 이용하는 접촉 대전 발전기(triboelectric energy harvester)의 생성 방법은 기판 위에 전극을 형성하는 단계; 상기 전극 위의 적어도 일부 영역에 마이크로 금속 패턴을 생성하는 단계; 및 금속 전기 증착 방식을 이용하여 상기 마이크로 금속 패턴 위에 나노 패턴을 형성하는 단계를 포함한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2016-10-05
- Application Date
- 2014-07-28
- Application Number
- 10-2014-0096024
- Registration Date
- 2016-10-05
- Registration Number
- 10-1665183-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
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