유연기구 메커니즘을 이용한 중공형 2축 직선운동 스테이지2 axes linear motion hollow stage using flexure mechanism

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dc.contributor.author권대갑ko
dc.contributor.author이학준ko
dc.contributor.author우시웅ko
dc.contributor.author김명현ko
dc.contributor.author박재현ko
dc.contributor.author정재헌ko
dc.date.accessioned2017-12-20T02:11:00Z-
dc.date.available2017-12-20T02:11:00Z-
dc.date.issued2016-11-23-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10203/230342-
dc.description.abstract유연기구 메커니즘을 이용한 중공형 2축 직선운동 스테이지가 개시된다. 본 발명에 따른 중공형 2축 직선운동 스테이지은 시편이 위치되는 최종단, 최종단의 X축 및 Y축 중 적어도 하나의 방향으로 상기 최종단을 이송시키는 구동부, 최종단의 이송방향을 가이드하는 가이드부 및 내부에 구동부 및 가이드부를 포함하고, 최종단과 결합되어 스테이지의 본체를 형성하는 베이스를 포함한다.-
dc.title유연기구 메커니즘을 이용한 중공형 2축 직선운동 스테이지-
dc.title.alternative2 axes linear motion hollow stage using flexure mechanism-
dc.typePatent-
dc.type.rimsPAT-
dc.contributor.localauthor권대갑-
dc.contributor.nonIdAuthor이학준-
dc.contributor.nonIdAuthor우시웅-
dc.contributor.nonIdAuthor김명현-
dc.contributor.nonIdAuthor박재현-
dc.contributor.nonIdAuthor정재헌-
dc.contributor.assignee한국과학기술원-
dc.identifier.iprsType특허-
dc.identifier.patentApplicationNumber10-2015-0051705-
dc.identifier.patentRegistrationNumber10-1680788-0000-
dc.date.application2015-04-13-
dc.date.registration2016-11-23-
dc.publisher.countryKO-
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