유연기구 메커니즘을 이용한 중공형 2축 직선운동 스테이지2 axes linear motion hollow stage using flexure mechanism
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 권대갑 | ko |
| dc.contributor.author | 이학준 | ko |
| dc.contributor.author | 우시웅 | ko |
| dc.contributor.author | 김명현 | ko |
| dc.contributor.author | 박재현 | ko |
| dc.contributor.author | 정재헌 | ko |
| dc.date.accessioned | 2017-12-20T02:11:00Z | - |
| dc.date.available | 2017-12-20T02:11:00Z | - |
| dc.date.issued | 2016-11-23 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/230342 | - |
| dc.description.abstract | 유연기구 메커니즘을 이용한 중공형 2축 직선운동 스테이지가 개시된다. 본 발명에 따른 중공형 2축 직선운동 스테이지은 시편이 위치되는 최종단, 최종단의 X축 및 Y축 중 적어도 하나의 방향으로 상기 최종단을 이송시키는 구동부, 최종단의 이송방향을 가이드하는 가이드부 및 내부에 구동부 및 가이드부를 포함하고, 최종단과 결합되어 스테이지의 본체를 형성하는 베이스를 포함한다. | - |
| dc.title | 유연기구 메커니즘을 이용한 중공형 2축 직선운동 스테이지 | - |
| dc.title.alternative | 2 axes linear motion hollow stage using flexure mechanism | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 권대갑 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이학준 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 우시웅 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김명현 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 박재현 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 정재헌 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2015-0051705 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-1680788-0000 | - |
| dc.date.application | 2015-04-13 | - |
| dc.date.registration | 2016-11-23 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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