유연기구 메커니즘을 이용한 중공형 3축 평면운동 스테이지3 axes in-plane motion hollow stage using flexure mechanism
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 권대갑 | ko |
| dc.contributor.author | 박재현 | ko |
| dc.contributor.author | 우시웅 | ko |
| dc.contributor.author | 김현창 | ko |
| dc.contributor.author | 이학준 | ko |
| dc.contributor.author | 김명현 | ko |
| dc.contributor.author | 정재헌 | ko |
| dc.contributor.author | 박세훈 | ko |
| dc.date.accessioned | 2017-12-20T02:10:51Z | - |
| dc.date.available | 2017-12-20T02:10:51Z | - |
| dc.date.issued | 2016-11-23 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/230338 | - |
| dc.description.abstract | 유연기구 메커니즘을 이용한 중공형 3축 평면운동 스테이지가 개시된다. 중공형 3축 평면운동 스테이지는 시편이 위치되는 시편장착부와 결합하는 최종단, 최종단을 중심으로 바람개비 형상을 이루며 결합되어 평면운동을 하는 구동부 및 내부에 구동부를 포함하고, 최종단과 결합되어 스테이지의 본체를 형성하는 베이스를 포함한다. | - |
| dc.title | 유연기구 메커니즘을 이용한 중공형 3축 평면운동 스테이지 | - |
| dc.title.alternative | 3 axes in-plane motion hollow stage using flexure mechanism | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 권대갑 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 박재현 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 우시웅 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김현창 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이학준 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김명현 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 정재헌 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 박세훈 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2015-0046013 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-1680784-0000 | - |
| dc.date.application | 2015-04-01 | - |
| dc.date.registration | 2016-11-23 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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