다원계 열전 페이스트 합성법을 이용한 고효율 열전후막 형성 방법 및 이를 이용하여 제조된 열전후막

Abstract

본 발명은 다원계 열전 페이스트 합성법을 이용한 고효율 열전후막 형성 방법 및 이를 이용하여 제조된 열전후막으로서, 삼원계 이상의 단원계 파우더에 용제(Solvent), 바인더(Binder) 및 글래스 파우더(Glass Powder)를 혼합하여 열전물질인 다원계 페이스트를 합성하는 페이스트 합성 단계; 기판 상에 상기 다원계 페이스트를 프린팅하는 프린팅 단계; 상기 프린팅된 기판을 건조시켜 상기 용제를 증발시키는 건조 단계; 및 열처리 과정을 통해 상기 건조된 기판에서 상기 바인더를 증발시키고 다원계 화합물을 형성시켜 다원계 열전후막을 합성하는 열전후막 형성 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 다원계 열전 페이스트 합성법을 이용한 고효율 열전후막 형성 방법과 이를 통해 제조된 열전후막이며, 이와 같은 본 발명에 의하면 다원계 열전후막의 형성 및 후속 열처리공정을 통해 고효율 열전특성을 갖는 열전후막을 제공할 수 있으며, 특히 증착두께 측면에서는 벌크(Bulk) 형태보다는 얇고 스퍼터(Sputter) 및 CVD 박막 보다는 두꺼운 수 내지 수백마이크로미터 두께의 후막을 형성하여 충분한 전력(Power) 값을 얻을 수 있는 열전후막을 제작할 수 있게 된다.