에어로졸 분사 장치AEROSOL JETTING APPARATUS
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 고승환 | ko |
| dc.contributor.author | 강현욱 | ko |
| dc.contributor.author | 성형진 | ko |
| dc.date.accessioned | 2017-12-20T01:50:30Z | - |
| dc.date.available | 2017-12-20T01:50:30Z | - |
| dc.date.issued | 2012-09-26 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/230056 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명에 따른 에어로졸 분사 장치는 에어로졸이 분사되는 하부 분사구를 가지고 있는 내측 하부 부재, 상기 내측 하부 부재와 제1 간격만큼 이격되어 피복 가스 챔버를 이루며 상기 하부 분사구와 중첩하는 상부 분사구를 가지고 있는 내측 상부 부재, 상기 내측 하부 부재 및 상기 내측 상부 부재와 결합되어 있는 외측 상부 부재를 포함하고, 상기 피복 가스 챔버의 제1 간격은 조절 가능하다. 따라서, 본 발명에 따른 에어로졸 분사 장치는 피복 가스가 분사되는 내측 하부 부재와 내측 상부 부재 사이의 제1 간격을 조절함으로써 박막 패턴의 선폭을 조절할 수 있다. | - |
| dc.title | 에어로졸 분사 장치 | - |
| dc.title.alternative | AEROSOL JETTING APPARATUS | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 고승환 | - |
| dc.contributor.localauthor | 성형진 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 강현욱 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2010-0041003 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-1187802-0000 | - |
| dc.date.application | 2010-04-30 | - |
| dc.date.registration | 2012-09-26 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
- Appears in Collection
- ME-Patent(특허)
- Files in This Item
- There are no files associated with this item.
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.