박막 봉지막 Thin film for encapsulation

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본 발명의 실시예에 따른 박막 봉지막은 기판; 및 상기 기판의 적어도 일면에 형성되는 적어도 하나의 단위구조를 포함하며, 상기 단위구조는 유전체층, 금속박막 및 유전체층의 순으로 적층되어 형성된다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2017-05-22
Application Date
2014-12-02
Application Number
10-2014-0170528
Registration Date
2017-05-22
Registration Number
10-1740628-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/229924
Appears in Collection
EE-Patent(특허)
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