압전 나노 자가발전 소자 및 그 제조 방법

Abstract

본 발명은 압전 나노 자가발전 소자 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 개시된 압전 나노 자가발전 소자는 기판 상에 형성된 제 1 전극과, 제 1 전극의 상부에 형성된 제 2 전극과, 제 1 전극과 제 2 전극 사이에 형성된 압전물질 나노 구조층 및 질소 화합물층을 포함한다. 압전물질 나노 구조층과 함께 질소 화합물층을 전극 사이에 형성함으로써, 전극에 대한 보다 신뢰성 있는 전위 장벽을 형성하여 내부로의 누설 전류의 흐름을 억제할 수 있으며, 전극에서의 전하의 누적을 향상시키고, 압전물질 나노 구조층과 질소 화합물층의 연속된 에피성장시 압전물질의 결정성 및 압전성 향상에 기여하여 결과적으로 향상된 압전 출력을 제공하는 이점이 있다.